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2026/10/12TOTAL_CLICKS：2
In Halbleiterwaferfabriken müssen Gasdetektionssysteme häufig gefährliche Gase bei sehr niedrigen Konzentrationen messen. PPB-EbeneB. das Probenröhrchen selbst zu einem wichtigen Bestandteil des Messsystems werden.
Für ein Halbleiterwafer-Gasdetektionsprojekt wurden die benötigten Gase NH3, HF und HCl, mit strengen Anforderungen an die Nachweisreaktion und Konzentrationsvariation vor und nach dem Anschluss des Schlauchs.
nach der Anwendungsprüfung, CJan Fluid Technologie Co., Ltd. Vorgesehen PFA-Schläuche, hergestellt mit 231SH importiertem PFA-Rohmaterial. Der Schlauch bestand die Konformitätsprüfung des Kunden und erfüllte die Projektanforderungen.
Die Endanwendung ist Überwachung von Umweltgasen innerhalb einer Halbleiterwafer-Fertigungsanlage.
Das System ist darauf ausgelegt, Folgendes zu erkennen:
Die Herausforderung besteht nicht einfach darin, diese Gase von der Probenahmestelle zum Detektionsinstrument zu transportieren, sondern bei Konzentrationen auf PPB-Ebene kann die Wechselwirkung zwischen dem Gas und dem Schlauchmaterial die gemessene Konzentration beeinflussen.
Daher benötigte der Kunde speziell ein Schlauchmaterial mit niedrige Adsorptionseigenschaften und stabile Leistung während der Gasprobenahme.
| Position | Anforderungen |
|---|---|
| Industrie | Halbleiter |
| Antragstellung | Wafer Fab Umweltgasdetektion |
| Zielgase | NH3/HF/HCl |
| Referenzkonzentration | 20 PPB |
| Nachweispflicht | ≥10 PPB innerhalb von 20 Minuten |
| Pumpe | Keine zusätzliche Probenahmepumpe |
| Probenahmequote | Auf der Grundlage der Prüfausrüstung |
| HF / HCl Differenz vor & nach dem Rohr | ≤ 0,1 PPB |
| NH3-Differenz vor & nach dem Schlauch | ≤ 15 PPB |
| Anforderungen an Hauptrohre | geringe Adsorption |
| Empfohlenes Material | PFA |
| Rohstoffe | 231SH importiertes PFA-Harz |
Bei höheren Gaskonzentrationen kann eine geringe Wechselwirkung zwischen Gas und Rohrwand eine relativ begrenzte Auswirkung haben.
Die Erkennung auf PPB-Ebene ist anders.
Wenn die Zielkonzentration nur wenige PPB oder zehn PPB beträgt, kann sogar eine kleine Änderung während der Probenahme für die endgültige Messung signifikant werden.
Aus diesem Grund müssen Gasprobenahmeschläuche bewertet werden für:
Dies ist besonders wichtig für Gase wie HF, HCl und NH3.
Basierend auf den Anforderungen des Kunden empfahl CJan PFA-Schläuche aus 231SH importiertem PFA-Rohmaterial.
PFA ist ein Fluorpolymer, das aufgrund seiner chemischen Resistenz, Sauberkeit und stabilen Materialeigenschaften in Halbleiter- und hochreinen Anwendungen weit verbreitet ist.
Für dieses Projekt war der Hauptgrund für die Auswahl von PFA seine Eignung für eine Beprobung von Adsorptionsgasen mit geringem Absorptionsgrad, die dann unter den tatsächlichen Testbedingungen des Kunden verifiziert wurde.
Bei der Detektion von PPB-Gas sollte das entnommene Gas durch die Schläuche so wenig wie möglich verändert werden.
PFA bietet im Vergleich zu vielen Allzweck-Schlauchmaterialien eine relativ niedrig adsorbierende Oberfläche, was es zu einem geeigneten Kandidaten für Anwendungen zur Probenahme von Spurengasen macht.
Das tatsächliche Adsorptionsverhalten hängt jedoch vom Gas, der Konzentration, der Feuchtigkeit, den Rohrabmessungen, der Oberflächenbeschaffenheit, der Durchflussrate und der Expositionszeit ab.
Deshalb bleibt Application Testing wichtig.
HF und HCl sind stark korrosive Gase, während NH3 auch eine angemessene Materialverträglichkeit erfordert.
PFA hat eine ausgezeichnete chemische Beständigkeit und wird häufig in der chemischen Handhabung von Halbleitern und in hochreinen Fluidsystemen verwendet.
Dies stellt eine geeignete Materialgrundlage für Gasprobenentnahmeanwendungen mit aggressiven chemischen Spezies dar.
Das Projekt erforderte Schläuche, die für eine Halbleiterwafer-Fab-Umgebung geeignet sind.
Verwendung 231SH importierte PFA-Rohstoffe stellt eine kontrollierte Materialbasis für den in dieser Anwendung verwendeten Schlauch bereit.
Für Halbleitergasüberwachungssysteme kann Materialreinheit genauso wichtig sein wie chemische Beständigkeit.
Anstatt sich nur auf theoretische Materialeigenschaften zu verlassen, wurde der PFA-Schlauch unter den vom Kunden angegebenen Bedingungen getestet.
Der Test umfasste:
20 PPB HF/HCl/NH3
mit der Anforderung, dass das Detektionsinstrument Folgendes erreichen sollte:
≥ 10 PPB innerhalb von 20 Minuten.
Der Versuch wurde ohne zusätzliche Extraktionspumpe durchgeführt, wobei die Abtastrate durch das Prüfgerät bestimmt wurde.
Der Schlauch wurde auch durch Vergleich der Gaskonzentration vor und nach dem Anschluss an den Schlauch bewertet.
Kundenanforderungen enthalten:
HF/HCl:
Differenz vor und nach der Schlauchverbindung ≤ 0,1 PPB
NH3:
Differenz vor und nach der Schlauchverbindung ≤ 15 PPB
Die gelieferten PFA-Schläuche bestanden die Compliance-Tests des Kunden und erfüllten die erforderlichen Anwendungskriterien.
Für die gewöhnliche Auswahl von Industrieschläuchen können Materialkompatibilitätstabellen oft einen guten Ausgangspunkt bieten.
Für die Gasdetektion auf PPB-Ebene reicht jedoch die Materialauswahl allein möglicherweise nicht aus.
Das tatsächliche Ergebnis kann auch beeinflusst werden durch:
Daher gilt für kritische Spurengasanwendungen Folgendes: Es wird empfohlen, den gesamten Probenahmeaufbau unter tatsächlichen Betriebsbedingungen zu prüfen..
Dieses Projekt folgte diesem Ansatz: Der PFA-Schlauch wurde auf der Grundlage der Anwendungsanforderungen ausgewählt und dann durch tatsächliche Tests verifiziert.
Abhängig vom spezifischen Gas- und Systemdesign können PFA-Schläuche in Betracht gezogen werden für:
Für jede Anwendung sollten Verträglichkeit und Adsorptionsleistung entsprechend der tatsächlichen Gaszusammensetzung und den Probenahmebedingungen bewertet werden.
Bei der Auswahl von Rohren für ein Halbleitergasüberwachungssystem sollten mehrere Faktoren berücksichtigt werden.
Bestätigen Sie, dass das Schlauchmaterial für das Zielgas geeignet ist.
Für den Nachweis des PPB-Niveaus kann die Schlauchadsorption die gemessene Konzentration und Ansprechzeit beeinflussen.
Die Schläuche sollten den Reinheitsanforderungen des Überwachungssystems entsprechen.
Die Durchflussmenge beeinflusst direkt die Gasverweilzeit im Inneren des Schlauchs.
Längere Rohre oder kleinere Innendurchmesser können die Wechselwirkungszeit zwischen dem Gas und der Rohrwand erhöhen.
Für anspruchsvolle Anwendungen besteht der beste Weg, die Eignung zu bestätigen, darin, den Schlauch unter den tatsächlichen Betriebsbedingungen zu testen.
Dieses Projekt beinhaltete Umweltgasdetektion von Halbleiterscheibenmit NH 3, HF und HCl als Zielgasen.
Der Kunde benötigte:
20 PPB Zielkonzentration → ≥10 PPB Detektion innerhalb von 20 Minuten
und spezifizierte Konzentrationsunterschiede vor und nach dem Schlauchanschluss von:
HF/HCl ≤ 0,1 PPB
NH3 ≤ 15 PPB
Basierend auf den Anwendungsanforderungen, CJan Fluid Technologie Co., Ltd. sofern
Der Schlauch bestand die Konformitätsprüfung des Kunden und erfüllte die Anforderungen der Anwendung.
Das Projekt zeigt einen wichtigen Punkt bei der Spurengasüberwachung: Das Probenahmeröhrchen sollte als Teil des Messsystems und nicht nur als Verbindungsbauteil behandelt werden.
CJan Fluid Technologie Co., Ltd. ist spezialisiert auf Fluidtransfer- und Verbindungslösungen für anspruchsvolle Anwendungen.
Unsere Produktpalette umfasst:
CJan betreut Kunden in:
Halbleiter | Chemische | Pharmazeutische | Lithium-Batterie | Lebensmittel & Getränke | Neue Energie
Für spezielle Anwendungen kann CJan die Schlauch- und Schlauchauswahl nach der tatsächlichen Medium, Konzentration, Temperatur, Druck, Durchflussmenge, Reinheitsanforderungen und Einbaubedingungen.
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